技術(shù)參數(shù)
貼裝工藝	UV貼裝工藝
產(chǎn)品應(yīng)用	CT探測器模塊與GOS貼裝
四軸貼片頭重復(fù)精度	±3um
X、Y、Z重復(fù)定位精度	±1.5um
θ角度解析精度	0.00027°
貼合傾斜度	≤5um/10mm
讀數(shù)頭/光柵尺分辯率	0.5um
X、Y、Z動力模式	直線驅(qū)動
旋轉(zhuǎn)動力模式	DD馬達(dá)
貼片工作臺行程	150mm*700mm
圖像算法模式	線條、圓、輪廓
CCD	500萬像素+2倍鏡筒
光源	環(huán)形+點光源
激光測距傳感器	KEYENCE 線性精度F.S.   (F.S. = ±5 mm) 的±0.05%
額定功率	1200W
供電電源	交流 220V 50Hz
壓縮氣體	0.4~0.6MPa
氮氣	0.4~0.6MPa
外形尺寸	2100mm*1750mm*1900mm
重量	1800KG